电容式位移传感器属于非接触式超高精度测量器件，依靠极板间电容变化测算位移，可实现亚纳米级分辨率，具备响应速度快、真空兼容、长期稳定性好的特点，是半导体晶圆台定位、光学设备、超精密机床、航空航天测试的核心精密测量部件，主打微小行程、超高精度洁净/真空精密测量场景。

 当前国内高端精密装备国产化进程持续推进，拉动电容式位移传感器需求稳步上涨。半导体设备是更大下游应用市场，光刻机工件台、晶圆检测、薄膜厚度监测都需要多通道电容探头做闭环定位反馈，单台高端设备搭载多支传感器，市场需求稳步释放。除此之外，新能源电池极片检测、光学镜头校准、超精密加工设备形变监测，成为新的增长赛道。

 此前高端电容式位移传感器长期由海外品牌占据，代表厂商如德国米铱，其产品可适配超高真空、强磁场科研工况。近年国内厂商持续攻关传感探头、低噪声信号调理电路、温度补偿算法，国产纳米级电容位移传感器陆续实现工程验证，逐步进入国内半导体装备、科研仪器供应链，国产替代进程加速。

 从产品特性来看，电容式传感器对粉尘、水汽、油污较为敏感，对被测面导电属性有要求，更适合洁净室、真空实验室环境。

 米朗科技积极布局电容式精密位移测量技术研发，打造自研电容式位移传感器产品，面向微小行程、超高精度测量场景。产品搭载自研低噪声信号调理电路，内置温度补偿算法，有效降低温漂带来的测量误差，支持多种标准信号输出，安装调试便捷。依托多年传感研发积淀，米朗可根据客户的量程、探头尺寸、安装空间等需求，提供定制化探头与信号采集整套测控方案，助力精密装备国产化落地。

 行业预测，伴随国内精密制造持续升级，电容式位移传感器市场将保持双位数增长，国产厂商的突破重点集中在探头封装、多通道同步采集、真空适配三大方向，逐步缩小与海外品牌的性能差距。